脉冲激光热反射法薄膜导热仪

脉冲激光热反射法薄膜导热仪热反射（thermo-reflectance）方法基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数（thermal diffusivity）、热导率（thermal conductivity）、吸热 系数（thermal effusivity）和界面热阻。
由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应于不同的基片情况（透明/不透明）。
该方法符合国际标准：
jis r 1689：通过脉冲激光热反射方法测量精细陶瓷薄膜的热扩散系数；
jis r 1690：陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法。
发展简史脉冲激光热反射法薄膜导热仪1990 年，日本产业技术综合研究所/日本国家计量院（aist/nmij）发明热反射法，测量薄膜导热性能。2008 年，aist 设立 picotherm 公司。2010 年，picotherm 公司推出纳秒级热反射系统 nanotr。2012 年，picotherm 公司推出皮秒级热反射系统 picotr。2014 年，picotherm 公司和 netzsch 公司建立战略合作。由 netzsch 负责 picotherm 产品在全球的销售和服务。

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