昆山国华真空等离子清洗机发展历程

昆山国华真空等离子清洗机发展历程
真空等离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔休、机械等几个部分组成，可以根据客户的特殊要求定制符合客户需要的真空系统，真空室。容易采用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。
真空等离子清洗机是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质，等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置。广泛应用于表面去油及清洗等离子刻蚀，聚四氟（ptfe）及聚四氟混合物的刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等离子涂镀聚合等工序，因此又应用于汽车电子领域、军工电子领域、pcb制成行业等高精密度领域。
真空等离子清洗机通过两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或郭的自由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体，同时会发生辉光，等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，达到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有机物，以及其它化学物质，从而达到表面处理、清洗和刻蚀效果，经过等离子处理工艺可以实现有选择的表面改性。
真空等离子清洗机运行过程如下：
1 ）被清洗的工件送入真空室并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室内的真空程度达到10 pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要 2 min。
2 ）向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在100 pa。根据清洗材质的不同，可分别选用氧气、氢气、氩气或氮气等气体。
3 ）在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件，开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟。
4 ）清洗完毕后切断高频电压，并将气体及气化的污垢排出，同时向真空室内鼓入空气，并使气压升至一个大气压。
昆山国华真空等离子清洗机发展历程
等离子清洗机的作用针对不同的产品有不同的作用，不过也无外乎以下几种：
等离子表面活化/蚀刻；等离子表面灰化/改性；提高材料表面的浸润能力；增强材料表面的邦定性；去除材料表面的有机污染物、油脂或油污。
等离子清洗机的作用原理：
（a）对材料表面的刻蚀作用
物理作用等离子体中的大量离子、激収态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
（b）激活键能，交联作用
等离子体中的粒子能量在 0~20ev，而聚合物中大部分的键能在 0~10ev，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基中的这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。
（c）形成新的官能团
化学作用如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性

昆山国华电子科技有限公司

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