广东无尘车间工程，集成电路设计施工要求
广东无尘车间工程，集成电路设计施工要求无尘车间是指将空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等物排除，并将室内温度、洁净度、无尘车间室内空气压力、无尘空间气流速度与分布、噪音振动及照明、静电控制在要求范围内，而所给予特别设计的车间。
无尘车间http://www.ymejh.com
好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，ffu循环系统运行成本低，洁净度安全性高，因此集成电路洁净厂房多采用ffu循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势
无尘车间
2、吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大干0。2m/s。
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随着集成电路制造技术的不断升级，主流大厂已经进入了纳米时代，集成电路制造洁净厂房的设计建造和节能创新也需要不断提升，为先进制程产品生产提供保障。
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