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低温等离子体激发
本工艺有40支至240支充有特殊气体的无极管组成的低温等离子体激发区,低温等离子体区是工艺的核心技术,国外诸多科研机构室称在常压下实现低温等离子体。从大量的试验分析,常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大,本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体,大限度地在无极管区实现低温等离子体区,由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有极强的能量平衡性,在粒子撞击中失能极少,所以低温等离子体作为原子激发是最理想的一种能。在实践应用中,大的科题在于低气压究竟是多少帕?管内充什么样的气体最有经济价值?这没有理论模型可言,只有通过实践、实验、分析。
极板区hinlsen根据被处理气体的流量,极板间的电压分12kv、16kv至42kv,极板间加以足够高的电压,在引风的作用下,极区由于负压的作用,按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自由离理论,在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现低温等离子体。
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