质量流量控制器(mass flow controller缩写为mfc)用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计(mass flow meter缩写为mfm),用于对气体的质量流量进行精密测量。
s49系列质量流量控制器和质量流量计特点:采用主体不锈钢(316l)结构,与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、viton 、聚四氟乙烯等;适用于各种腐蚀性气体;气体流量不因温度、压力的变化而失准;高精度;重复性好;响应速度快、软启动、稳定可靠;低压降;工作压力范围宽(可以在高压或真空条件下工作);操作使用方便,可任意位置安装;便于与计算机连接实现自动控制。 s49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域;半导体制造行业的气体流量控制。
气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围,mfc和mfm可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中,其典型应用有:电子工艺设备,如氧化、cvd、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射,以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。
flowmethod质量流量控制器,本着以诚德为先,以客为尊的主旨,为客户提供高性价比,高性质的产品;深圳弗罗迈的公司的质量流量控制器可耐强腐蚀,可耐高压,有超低压,低压损的产品以供客户不同的工艺来使用;
1.气体质量流量控制器,气体质量流量计
2.在线压力控制器,密封腔体压力控制器
2.气体测试控制系统,泄漏检测系统
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4.系统配套
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